<單軸壓電掃描臺/納米平移臺-上海昊量光電設備有限公司

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        單軸壓電掃描臺/納米平移臺

        簡要描述:單軸壓電掃描臺/納米平移臺采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其結構緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。

        • 產品型號:
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2021-06-02
        • 訪  問  量:2244
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        詳細介紹

        單軸壓電掃描臺/納米平移臺

        AU-NPS-X系列納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優點。全行程采用電容位移傳感器閉環反饋設計,精度可達到亞納米量級。結合數字閉環控制器,納米定位工作臺的響應時間和穩定時間可達到毫秒量級。

         

         

        Nanopositioning Stages 亞納米定位工作臺 微定位工作臺 微動臺 壓電精密定位系統,納米平移臺,納米定位臺,納米掃描臺,壓電平移臺

         

         

        單軸壓電掃描臺/納米平移臺

        AU-NPS-X系列納米定位工作臺zui初的設計是為了滿足超快速度和超精密的應用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其結構緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。

         

        全行程采用電容位移傳感器閉環反饋控制系統設計,電容位移傳感器是將位移變化轉換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡單易用,而且擁有*的精度,可達到亞納米量級。結合數字閉環控制器,納米定位工作臺的響應時間和穩定時間可達到毫秒量級。低的移動質量和高的剛度結合可以提供非常高的帶寬。

         

        對于大行程的納米定位臺,采用目前業內zui*的雙傳感技術與以往相比可以提供更快的響應速度,提高有效載荷出現變化時的穩定性和更高的帶寬。這項突破性的技術能夠應用于各種袖珍模擬和數字控制器,其操作簡便,為用戶提供*性能。

         

        公司的一維納米定位工作臺主要包含以下幾款產品:

         

        ①超緊湊型閉環亞納米微動臺

         

         

        AU-NPS-X-5A一款已推出市面上體積zui小的閉環一微亞納米級別的微動臺。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm(長´´高)。應用電容位移傳感器,位移分辨率達到亞納米級別??蛰d下的自振頻率更是高達8000HZ。采用鋁合金材質,其擁有較輕的質量和高的剛度,使其有高的帶寬,在zui大負載的情況下響應時間可達到亞毫秒級別。

         

         

         

         

         

        超快一維亞納米定位平臺

         

         

        AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米微動臺,用于高速的、超精密的應用。該設備在空載下的自振頻率高達9500HZ。在7g負載的情況下仍可達到8700HZ。并且該產品具有良好的位置重復性。擁有良好的響應速度,響應時間達到毫秒量級。并且該款產品可按照不同需求進行工業定制。

         

         

         

        超大行程的一維納米微動臺

        AU-NPS-X-500A采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其具有較緊湊的體積,使用電容傳感器,在整個行程中分辨率精度可高達亞納米級別。使用雙傳感設計,可提供更快的階躍響應,提高有效載荷出現變化時的穩定性,并擁有更大的帶寬,使其擁有更快的響應時間。

         

        高負載大推力一維亞納米微動臺

         

        AU-NPS-X-30B是一款高負載的微動臺,zui高負載可高達10kg。其擁有極寬的帶寬高達1KHZ??蛰d下的自振頻率更是高達5000HZ。

         

         

         

         

        除了以上幾款產品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維微動臺也擁有優異的性能。外加負載可高達5kg。擁有較高的帶寬,在50g負載的情況下,響應時間可達毫秒量級。AU-NPS-X-15DAU-NPS-X-15A屬于相同型號,但是具有更高的高度(15.5mm),因此擁有更高的剛度,因此具有較寬的帶寬、較低的穩定時間和較高的自振頻率。

         

         

        u  主要特點

        • 亞納米的分辨率
        • 高的帶寬
        • 高速響應
        • 高的可靠性
        • 結構緊湊
        • 壓電陶瓷驅動
        • 柔性鉸鏈設計
        • 電容位移傳感器閉環反饋

         

         

         

        u  主要應用

          磁頭和磁盤驅動測試、計量學、干涉度量學、原子力顯微鏡等

         

         

         

         

        u  產品主要參數

         

         

        型號

        參數

        AU-NPS-X-5A

        AU-NPS-X-15A

        AU-NPS-X-15D

        AU-NPS-X-500A

        AU-NPS-X-30B

        AU-OEM-X-10A

        Material

        Aluminium

        Stainless steel 316

        Stainless steel 316

        Titanium &

        Aluminium Alloy

        Titanium

        Titanium

        Size

         

        23 long x 16.5 wide x 7.6 high

        60 long x 40 wide x 13.5 high

        60 long x 40 wide x 15.5 high

        60 x 60 x 20

        60 long x 40 wide x 15.5 high

        62 long x 40 wide x 22 high

        Range (mm)

        Minimum

         

        ± 7.5

        ± 7.5

        500 

        ± 15 

        ± 5

        Typical

        6.5

        ± 8

        ± 8

         

         

        ± 6

        Maximum

         

         

         

         

         

         

        Resonant frequency: 0g load

        Minimum

         

        3000 HZ

        3500 HZ

        260 HZ

        4500 HZ

         

        Typical

        8000 HZ

         

         

        5000 HZ

        9500 HZ

        Maximum

         

         

         

         

         

        Resolution

        sub-nanometer

        1 nm

        sub-nanometer

        Maximum load

        5 g

        5 kg

        5 kg

        1 kg

        10 kg

        0.2 kg

        Position noise(1σ ) /nmrms

        Fast

         

        0.2

        0.2

         

        0.12

        0.05

        Medium

        0.1

        0.1

        0.1

        0.09

        0.07

        Slow

         

        0.05

        0.05

        0.04

        0.1

        Linearity error (peak)/%

        Minimum

         

         

         

         

         

         

        Typical

        0.1

        0.01

        0.01

        0.02

        0.01

        0.01

        Maximum

        0.2

        0.02

        0.02

         

        0.02

        0.02

                  

         

         

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